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逯鑫淼
作品数:
3
被引量:5
H指数:2
供职机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
上海市科学技术委员会基础研究重点项目
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相关领域:
理学
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合作作者
吴谊群
黑龙江大学
王阳
中国科学院上海光学精密机械研究...
姜来新
中国科学院上海光学精密机械研究...
魏劲松
中国科学院上海光学精密机械研究...
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王阳
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:掩膜 锑 光刻 超分辨 记录层
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吴谊群
供职机构:黑龙江大学
研究主题:酞菁 金属酞菁 氧 萘酞菁 旋涂膜
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供职机构
所获资助
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姜来新
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:锑 相变 掩膜 光学常数 超分辨
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相关人物
供职机构
所获资助
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魏劲松
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:超分辨 激光直写 数值孔径 测量方法 掩膜
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供职机构
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