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逯鑫淼

作品数：3 被引量：5H指数：2
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金上海市科学技术委员会基础研究重点项目更多>>
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共 4 条 记 录，以下是 1-4
王阳
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：掩膜 锑 光刻 超分辨 记录层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴谊群
供职机构：黑龙江大学
研究主题：酞菁 金属酞菁 氧 萘酞菁 旋涂膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姜来新
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：锑 相变 掩膜 光学常数 超分辨
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
魏劲松
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：超分辨 激光直写 数值孔径 测量方法 掩膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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