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彭雪峰

作品数:9 被引量:4H指数:1
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金:国际科技合作与交流专项项目更多>>
相关领域:理学机械工程电子电信自动化与计算机技术更多>>

领域

  • 16个机械工程
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主题

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  • 9个数据采集卡
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机构

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  • 7个中国科学院研...
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资助

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传媒

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  • 1个电子测量技术
  • 1个世界科学
  • 1个无机材料学报
  • 1个激光杂志

地区

  • 17个上海市
17 条 记 录,以下是 1-10
黄惠杰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曾爱军
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 移相 测量方法 偏振
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄立华
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:免疫层析 上转换发光 光刻机 试纸条 金标
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
任冰强
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 光束 照明系统 光阑 焦斑
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨宝喜
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 衍射光学元件 照明系统 光学设计 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈贝特
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:金标 移相 达曼光栅 参考光 球面干涉仪
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
鲍建飞
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:波片 衍射光栅 方位角 信号处理系统 起偏器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈军
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:元件 表面形貌 处理器 光学 激光位移传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
肖艳芬
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 衍射光学元件 离轴照明 微透镜阵列 分子激光器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱菁
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 衍射光学元件 离轴照明 紫外光刻 照明系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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