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刘羽

作品数：12 被引量：1H指数：1
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：文化科学电子电信电气工程更多>>

合作作者

领域

  • 11个电子电信
  • 11个电气工程
  • 11个自动化与计算...
  • 11个文化科学
  • 10个机械工程
  • 9个金属学及工艺
  • 9个理学
  • 8个一般工业技术
  • 6个经济管理
  • 5个交通运输工程
  • 5个农业科学
  • 4个化学工程
  • 4个矿业工程
  • 3个航空宇航科学...
  • 3个环境科学与工...
  • 2个天文地球
  • 2个动力工程及工...
  • 2个建筑科学
  • 2个轻工技术与工...
  • 2个医药卫生

主题

  • 11个电机
  • 11个电路
  • 11个叠层
  • 10个单自由度
  • 10个电机驱动
  • 10个电流
  • 9个大行程
  • 9个弹簧
  • 9个弹性元件
  • 9个电动机
  • 9个电机推力
  • 9个调制
  • 9个迭代学习
  • 8个电光
  • 8个电光相位调制...
  • 7个带结构
  • 7个弹射
  • 7个导轨
  • 6个电磁
  • 6个电磁力

机构

  • 12个清华大学
  • 2个电子科技大学
  • 2个华中科技大学
  • 2个上海交通大学
  • 1个德克萨斯理工...
  • 1个南京航空航天...
  • 1个南京理工大学
  • 1个华东交通大学
  • 1个天津大学
  • 1个武汉科技大学
  • 1个中国矿业大学
  • 1个华中理工大学
  • 1个信息产业部
  • 1个北京机床研究...

资助

  • 12个国家自然科学...
  • 11个国家重点基础...
  • 10个中国博士后科...
  • 8个国家高技术研...
  • 8个国家科技重大...
  • 6个国家重点实验...
  • 5个北京市自然科...
  • 3个国家科技支撑...
  • 3个光电技术及系...
  • 3个国家部委资助...
  • 3个国家教育部博...
  • 2个国家科技攻关...
  • 2个湖北省自然科...
  • 2个清华大学基础...
  • 2个北京市科技计...
  • 2个面向21世纪...
  • 2个中国人民解放...
  • 2个清华大学校科...
  • 1个The Ro...
  • 1个国家教育部“...

传媒

  • 10个清华大学学报...
  • 9个机械工程学报
  • 8个电工技术学报
  • 8个中国电机工程...
  • 7个系统仿真学报
  • 6个机床与液压
  • 6个组合机床与自...
  • 6个机械科学与技...
  • 6个科学技术与工...
  • 5个制造技术与机...
  • 5个微电机
  • 4个电机与控制学...
  • 4个压力容器
  • 4个机械强度
  • 4个中国机械工程
  • 4个光学学报
  • 3个计算机集成制...
  • 3个光学精密工程
  • 3个半导体技术
  • 3个仪器仪表学报

地区

  • 11个北京市
  • 1个湖北省
共 12 条 记 录，以下是 1-10
朱煜
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张鸣
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 位移测量系统 工位
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨开明
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 平面电机 六自由度 直线电机 工件台
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐登峰
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 工位 平面电机 六自由度 基台
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡金春
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工位 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
尹文生
供职机构：华中科技大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工位 直线电机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
穆海华
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 工件台 音圈电机 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪劲松
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 并联机床 机器人 三自由度 并联机构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋玉晶
供职机构：清华大学
研究主题：音圈电机 六自由度 定位装置 叠层结构 直线电机驱动
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李鑫
供职机构：清华大学
研究主题：平面电机 工件台 音圈电机 晶圆 光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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