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王永平
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复旦大学
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合作作者
丁士进
复旦大学微电子学院专用集成电路...
张卫
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刘文军
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朱宝
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刘文军
复旦大学微电子学院专用集成电路...
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丁士进
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 低介电常数 电荷 铜互连 快速热退火
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张卫
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 存储器 晶体管 电极 隧穿
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刘文军
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研究主题:薄膜晶体管 选通 横线 掉电 电阻率
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朱宝
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刘文军
供职机构:复旦大学微电子学院专用集成电路与系统国家重点实验室
研究主题:ZRO2 ZRO SIO 介质 叠层
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