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郭聪
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12
被引量:3
H指数:1
供职机构:
沈阳芯源微电子设备有限公司
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相关领域:
电子电信
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合作作者
张怀东
沈阳芯源微电子设备有限公司
施强
沈阳芯源微电子设备有限公司
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张怀东
供职机构:沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题:晶片 芯片制造 喷嘴 均匀性 显影
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施强
供职机构:沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题:半导体设备 风扇控制器 风口 阀板 稳压器
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