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刘虹遥
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33
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中国科学院微电子研究所
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合作作者
路鑫超
中国科学院微电子研究所
黄成军
中国科学院微电子研究所
陈鲁
中国科学院微电子研究所
张朝前
中国科学院微电子研究所
夏洋
中国科学院微电子研究所
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路鑫超
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:表面等离激元 斜入射 等离激元 表面光学 反射光
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黄成军
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:芯片 脉搏波 表面等离激元 细胞 微流控芯片
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陈鲁
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:表面等离激元 散射 反射光 晶圆 金薄膜
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张朝前
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:等离子体 常压等离子体 绝缘介质 自由基 等离子体发生器
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夏洋
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
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供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:倏逝波 病毒检测 盖玻片 焦平面 扩束
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熊伟
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:椭偏测量 倏逝波 系统参数 延迟量 起偏器
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李超波
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
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韩立
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束 原子力显微镜 扫描探针显微镜 电子束曝光 电流变液
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李鑫
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:传感器检测 金纳米颗粒 污染 自组装 气体传感器
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