2024年12月18日
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王一光
作品数:
34
被引量:33
H指数:3
供职机构:
黑龙江大学电子工程学院
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
国家科技重大专项
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
陈兴林
哈尔滨工业大学航天学院
张常江
哈尔滨工业大学
刘洋
哈尔滨工业大学
刘杨
哈尔滨工业大学
宋跃
哈尔滨工业大学
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陈兴林
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:光刻机 工件台 神经网络 物理仿真 微分对策
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张常江
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:光刻机 工件台 运动控制卡 双口RAM 系统初始化
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刘洋
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:桥梁结构 桥梁 测点 接触器 分布式光纤
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刘杨
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:超精密 光刻机 工件台 物理仿真 气浮
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宋跃
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:光刻机 工件台 运动控制卡 系统初始化 同步控制
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董岳
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:被控对象 垂向 超精密 长焦 参数整定方法
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陈震宇
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:物理仿真 气浮 光刻机 垂向 伺服机构
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崔莹
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:低压电力线通信 主节点 六自由度 调压阀 气浮台
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李泽辉
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:气浮台 六自由度 物理仿真 调压阀 多自由度
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王岩
供职机构:中南大学材料科学与工程学院粉末冶金国家重点实验室
研究主题:显微组织 气浮台 GH4169合金 动态再结晶 电接触材料
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