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胡潇

作品数：1 被引量：20H指数：1
供职机构：合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省MEMS工程技术研究中心更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划安徽省科技攻关计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

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共 6 条 记 录，以下是 1-6
许高斌
供职机构：合肥工业大学
研究主题：多晶硅薄膜 多晶硅 MEMS 热导率 谐振式压力传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
皇华
供职机构：合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省MEMS工程技术研究中心
研究主题：ICP 感应耦合等离子体刻蚀 硅刻蚀 工艺参数 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
展明浩
供职机构：合肥工业大学电子科学与应用物理学院
研究主题：ICP 工艺参数 刻蚀 ICP刻蚀 高深宽比
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王文靖
供职机构：中国兵器工业集团
研究主题：ICP 感应耦合等离子体刻蚀 硅刻蚀 工艺参数 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈兴
供职机构：合肥工业大学
研究主题：MEMS 谐振式压力传感器 多孔硅 传感器 MEMS加速度传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄晓莉
供职机构：合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省MEMS工程技术研究中心
研究主题：ICP 感应耦合等离子体刻蚀 硅刻蚀 工艺参数 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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