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王明伟
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4
被引量:7
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供职机构:
中国电子科技集团公司第四十九研究所
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
自动化与计算机技术
金属学及工艺
化学工程
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合作作者
谌福华
中国电子科技集团公司第四十九研...
司良有
中国电子科技集团公司第四十九研...
郑丽
中国电子科技集团公司第四十九研...
金建东
中国电子科技集团公司第四十九研...
齐虹
中国电子科技集团公司第四十九研...
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齐虹
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:流量传感器 微机电系统 湿法腐蚀 传感器芯片 MEMS工艺
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供职机构
所获资助
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郑丽
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:湿敏元件 湿敏材料 感湿机理 衬底材料 衬底
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司良有
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:湿敏元件 传感器 电化学气体传感器 湿敏材料 衬底材料
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供职机构
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金建东
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:湿敏元件 湿度传感器 传感器 高分子膜 湿敏材料
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李玉玲
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:BCB 苯并环丁烯 键合 加速度计 毛细作用
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谌福华
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:传感器 MEMS加速度传感器 封装 传感器温度补偿 补偿电阻
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李鑫
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:存储介质 网络 触发 复现 虚拟网络
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王晓光
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:干法刻蚀 刻蚀速率 均匀性 等离子体刻蚀 等离子体
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丁文波
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:TOC 吸收式 总有机碳 加速度传感器 结构参数
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