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刘超然
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6
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供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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合作作者
周晓峰
中国科学院上海微系统与信息技术...
车录锋
中国科学院上海微系统与信息技术...
李伟
中国科学院上海微系统与信息技术...
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车录锋
供职机构:浙江大学
研究主题:弹性梁 电容式加速度传感器 微机械陀螺 加速度传感器 硅
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供职机构
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周晓峰
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:弹性梁 电容式加速度传感器 加速度传感器 侧向冲击 过载
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相关人物
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研究领域
李伟
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:芯片 折射率 弹性梁 电磁波 衬底
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