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杜聚有

作品数：5 被引量：14H指数：2
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
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共 3 条 记 录，以下是 1-3
王向朝
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
戴凤钊
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：测量方法 波像差 光栅 波前 剪切干涉
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
步扬
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：偏振 光刻机 斯托克斯参量 偏振态 数值孔径
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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