2024年11月27日
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张超杰
作品数:
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西南交通大学
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相关领域:
机械工程
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合作作者
钱林茂
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余丙军
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陈磊
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余丙军
供职机构:西南交通大学
研究主题:选择性刻蚀 单晶硅 针尖 扫描探针显微镜 原子力显微镜
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钱林茂
供职机构:西南交通大学
研究主题:单晶硅 原子力显微镜 探针 选择性刻蚀 扫描探针显微镜
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陈磊
供职机构:西南交通大学
研究主题:原子力显微镜 微悬臂 探针 针尖 接触压力
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高健
供职机构:西南交通大学
研究主题:选择性刻蚀 砷化镓 砷化镓表面 形貌 高真空
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陈家良
供职机构:西南交通大学
研究主题:阵列 针尖 微加工 自补偿 紫外
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陈诚
供职机构:西南交通大学
研究主题:管片 盾构隧道 机电系统 流量计 微机电系统
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汪洪波
供职机构:西南交通大学
研究主题:微加工 自补偿 紫外 平面度 阵列
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江亮
供职机构:西南交通大学
研究主题:超精密 腔体 探针 抛光装置 胶体二氧化硅
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