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付宏
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清华大学
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自动化与计算机技术
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合作作者
张文增
清华大学
胡楚雄
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张鸣
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朱煜
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彭靖淞
清华大学
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胡楚雄
供职机构:清华大学
研究主题:平面电机 光刻机 激光干涉 测量系统 大行程
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张文增
供职机构:清华大学
研究主题:机器人手指 关节 抓取 欠驱动 自适应
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张鸣
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 位移测量系统 工位
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朱煜
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
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彭靖淞
供职机构:清华大学
研究主题:发动机装配 工艺数据库 激光束 进场 零部件
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