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张恒

作品数：20 被引量：22H指数：3
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金上海市自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信理学机械工程更多>>

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共 11 条 记 录，以下是 1-10
王向朝
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李思坤
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：掩模 光刻机 投影物镜 光刻 极紫外光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
闫观勇
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 像差 主成分
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈丽娜
供职机构：新疆师范大学物理与电子工程学院
研究主题：投影物镜 光刻机 大数值孔径 波像差 数值孔径
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
管文超
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：掩模 仿真方法 极紫外光刻 多层膜 近似法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
戴凤钊
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：测量方法 波像差 光栅 波前 剪切干涉
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱鹏辉
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：波像差 投影物镜 点光源 子孔径拼接 测试技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李杰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：波像差 投影物镜 剪切干涉 剪切干涉仪 子孔径拼接
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
步扬
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：偏振 光刻机 斯托克斯参量 偏振态 数值孔径
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐锋
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：波像差 干涉仪 剪切干涉 投影物镜 光栅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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