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刘文文
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供职机构:
中国科学院半导体研究所
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电子电信
医药卫生
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合作作者
俞育德
中国科学院半导体研究所
魏清泉
中国科学院半导体研究所
蒋莉娟
中国科学院半导体研究所
刘元杰
中国科学院半导体研究所
李钊
中国科学院半导体研究所
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俞育德
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:芯片 反应池 硅基 肌肉 液滴
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魏清泉
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:芯片 反应池 温度 超声传感器 硅基
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所获资助
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蒋莉娟
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:芯片 超声传感器 电容式 直流电场 硅基
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供职机构
所获资助
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刘元杰
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:玻璃衬底 并行计算 并行化 高通量 反应池
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李钊
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:肌肉 阻抗图 芯片 阻抗 电极
发表作品
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宁瑾
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:电极 牺牲层 MEMS 4H-SIC 谐振器
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杨翎
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:芯片 单细胞 反应池 肌肉 开关电容
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王小青
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:超声传感器 电容式 空腔 驻极体 触觉
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刘勇
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:成像分辨率 干法刻蚀 反应池 硅基 光子芯片
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孙英男
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:芯片 阵列结构 衬底 液滴 扩增
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