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上海交通大学
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段力
上海交通大学电子信息与电气工程...
丁桂甫
上海交通大学电子信息与电气工程...
张丛春
上海交通大学电子信息与电气工程...
汪红
上海交通大学电子信息与电气工程...
刘宜胜
上海交通大学
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段力
供职机构:上海交通大学
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丁桂甫
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机电系统技术 双稳态 微加工
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汪红
供职机构:上海交通大学
研究主题:TSV MEMS 图形化 微加工 微机电系统
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张丛春
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研究主题:微机电系统技术 磁控溅射 双稳态 热电偶 高温
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杨卓青
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研究主题:绝缘衬底 惯性开关 微机电系统技术 蛇形弹簧 微机电系统
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李洪美
供职机构:上海交通大学
研究主题:光刻技术 微制造 图形化 软质 光刻
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刘宜胜
供职机构:上海交通大学
研究主题:光刻技术 微制造 图形化 软质 光刻
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邵靖
供职机构:上海交通大学
研究主题:光刻技术 微制造 图形化 软质 光刻
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