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姚舜
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53
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供职机构:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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国家自然科学基金
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合作作者
喻波
中国科学院长春光学精密机械与物...
金春水
中国科学院长春光学精密机械与物...
邓文渊
中国科学院长春光学精密机械与物...
靳京城
中国科学院长春光学精密机械与物...
李春
中国科学院长春光学精密机械与物...
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喻波
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:极紫外 极紫外光刻 多层膜 MO/SI多层膜 EUV
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供职机构
所获资助
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金春水
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 极紫外 多层膜 极紫外光刻 面形
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邓文渊
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:深紫外 光学薄膜 激光 多层膜 元件
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靳京城
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:深紫外 光学薄膜 极紫外 激光 元件
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李春
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
研究主题:深紫外 多层膜 光学薄膜 氟化物 激光损伤
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王珣
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:极紫外 多层膜 紫外光刻 紫外波段 极紫外光刻
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王君
供职机构:中国科学院
研究主题:极紫外光刻 掩模 光学系统 极紫外 多层膜
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谢耀
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 面形 极紫外光刻 极紫外 掩模
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王丽萍
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 光学系统 面形 极紫外光刻 波像差
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龚学鹏
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:三维曲面 机械工程领域 光学元件 多点成形 数值模拟
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