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姚舜

作品数:53 被引量:5H指数:2
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信理学医药卫生金属学及工艺更多>>

领域

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主题

  • 11个多层膜
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机构

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  • 5个中国科学院大...
  • 4个中国科学院
  • 3个中国科学院研...
  • 1个吉林大学
  • 1个上海交通大学
  • 1个中国科学院长...

资助

  • 12个国家科技重大...
  • 10个国家自然科学...
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传媒

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  • 1个光机电信息
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  • 1个光电子.激光
  • 1个物理实验

地区

  • 11个吉林省
  • 1个北京市
12 条 记 录,以下是 1-10
喻波
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:极紫外 极紫外光刻 多层膜 MO/SI多层膜 EUV
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
金春水
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 极紫外 多层膜 极紫外光刻 面形
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邓文渊
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:深紫外 光学薄膜 激光 多层膜 元件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
靳京城
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:深紫外 光学薄膜 极紫外 激光 元件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李春
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
研究主题:深紫外 多层膜 光学薄膜 氟化物 激光损伤
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王珣
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:极紫外 多层膜 紫外光刻 紫外波段 极紫外光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王君
供职机构:中国科学院
研究主题:极紫外光刻 掩模 光学系统 极紫外 多层膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢耀
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 面形 极紫外光刻 极紫外 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王丽萍
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 光学系统 面形 极紫外光刻 波像差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
龚学鹏
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:三维曲面 机械工程领域 光学元件 多点成形 数值模拟
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
共2页<12>
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