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张熙

作品数：3 被引量：7H指数：1
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
相关领域：电子电信金属学及工艺自动化与计算机技术更多>>

合作作者

领域

  • 4个金属学及工艺
  • 4个机械工程
  • 4个电子电信
  • 4个自动化与计算...
  • 3个电气工程
  • 2个理学
  • 1个经济管理
  • 1个化学工程
  • 1个一般工业技术

主题

  • 4个多晶
  • 4个多晶硅
  • 4个微齿轮
  • 4个微机械
  • 4个微机械加工
  • 4个感器
  • 4个硅
  • 4个齿轮
  • 4个传感
  • 4个传感器
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  • 3个开关
  • 3个测试系统
  • 2个单晶
  • 2个电场
  • 1个单晶硅

机构

  • 4个中国科学院上...
  • 3个复旦大学
  • 1个华东师范大学
  • 1个浙江大学
  • 1个中国科学院

资助

  • 2个国家自然科学...
  • 2个上海市科学技...
  • 1个国家重点基础...
  • 1个中国科学院科...
  • 1个国家攀登计划
  • 1个上海市科学技...
  • 1个中国科学院重...

传媒

  • 4个仪表技术与传...
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  • 1个微细加工技术

地区

  • 5个上海市
共 5 条 记 录，以下是 1-5
谭淞生
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 硅片 齿轮 微齿轮 金刚石薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵新安
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微齿轮 齿轮 多晶硅 硅片 物理过程
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王渭源
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 传感器 微电子机械系统 微机械器件 金刚石薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
苏毅
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微齿轮 齿轮 多晶硅 微机械加工 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王善鹤
供职机构：复旦大学
研究主题：传感器 测试系统 半导体器件 开关 温度特性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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