2024年12月18日
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宋跃
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21
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哈尔滨工业大学
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国家科技重大专项
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文化科学
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合作作者
张常江
哈尔滨工业大学航天学院
陈兴林
哈尔滨工业大学航天学院
刘洋
哈尔滨工业大学
王一光
哈尔滨工业大学
陈震宇
哈尔滨工业大学
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张常江
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:光刻机 工件台 运动控制卡 双口RAM 系统初始化
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陈兴林
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:光刻机 工件台 神经网络 物理仿真 微分对策
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刘洋
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:桥梁结构 桥梁 测点 接触器 分布式光纤
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王一光
供职机构:黑龙江大学电子工程学院
研究主题:工件台 运动控制卡 机械参数 系统初始化 微动
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陈震宇
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:物理仿真 气浮 光刻机 垂向 伺服机构
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刘杨
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:超精密 光刻机 工件台 物理仿真 气浮
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刘洋
供职机构:哈尔滨工业大学航天学院
研究主题:光刻机 工件台 系统设计 DSP CMOS图像传感器
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董岳
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:被控对象 垂向 超精密 长焦 参数整定方法
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强盛
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:物理仿真 三轴气浮台 质心 气浮 光刻机
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魏凯
供职机构:哈尔滨工业大学航天学院
研究主题:光刻机 工件台 VXWORKS 同步控制 运动控制卡
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