2024年12月21日
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马丽娜
作品数:
7
被引量:7
H指数:1
供职机构:
西安工业大学
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发文基金:
西安工业大学校长基金
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相关领域:
电子电信
理学
一般工业技术
机械工程
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合作作者
孙国斌
西安工业大学光电工程学院
蒋世磊
西安工业大学光电工程学院
弥谦
西安工业大学光电工程学院
张锦
西安工业大学光电工程学院
杭凌侠
西安工业大学光电工程学院
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张锦
供职机构:西安工业大学光电工程学院
研究主题:光刻系统 干涉光刻 光刻 光刻技术 激光干涉
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孙国斌
供职机构:西安工业大学光电工程学院
研究主题:光学设计 衍射光学元件 光阑 多光束干涉 磁控溅射
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供职机构
所获资助
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蒋世磊
供职机构:西安工业大学光电工程学院
研究主题:光学设计 光学系统 干涉光刻 光阑 光学镜头
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弥谦
供职机构:西安工业大学光电工程学院
研究主题:离子能量 类金刚石膜 离子镀 类金刚石薄膜 光学薄膜
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杭凌侠
供职机构:西安工业大学
研究主题:类金刚石薄膜 表面粗糙度 离子能量 光学薄膜 非平衡磁控溅射
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杨国锋
供职机构:西安工业大学光电工程学院
研究主题:干涉光刻 光强 光刻 多光束干涉 ABS
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计玮
供职机构:西安工业大学
研究主题:平行度 直线度 干涉光刻 光强 光刻
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