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居斌
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1
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H指数:1
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十六研究所
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合作作者
陈涛
中国电子科技集团公司第四十六研...
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陈涛
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:硅外延片 均匀性 电阻率 过渡区 势垒电容
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