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李一吾

作品数：7 被引量：0H指数：0
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合作作者

领域

  • 2个自动化与计算...
  • 1个文化科学

主题

  • 6个进气
  • 6个硅片
  • 6个硅片表面
  • 4个气体
  • 3个导轨
  • 3个灯组
  • 3个支承
  • 3个排气
  • 3个排气法
  • 3个气密
  • 3个轴承
  • 3个轴向
  • 3个外延层
  • 3个斜坡
  • 3个流体
  • 3个螺钉
  • 3个螺柱
  • 3个密封
  • 3个密封圈
  • 3个接口

机构

  • 7个北京七星华创...
  • 1个东北大学
  • 1个同济大学

资助

  • 1个国家高技术研...
  • 1个国家自然科学...
  • 1个中国博士后科...
  • 1个国际科技合作...
  • 1个上海市国际科...
  • 1个上海市科委科...
  • 1个中央高校基本...

传媒

  • 1个仪器仪表学报
  • 1个同济大学学报...
  • 1个控制理论与应...

地区

  • 7个北京市
共 7 条 记 录，以下是 1-7
龙睿芬
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：固定螺钉 接口连接 接口 螺柱 流体
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刘东
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：硅片表面 化学吸附 温度梯度 前驱物 真空系统
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苏艳波
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：吹扫 分配网络 气体 瓶体 薄膜沉积技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
兰云峰
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：半导体 卡紧 自定位 瓶体 锐角
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魏景峰
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：半导体 晶片 硅片 滑移 立式
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崔娟娟
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：半导体设备 硅片 控制精度 温度控制装置 温度均匀性
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刘俊豪
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：网络控制系统 一致有界性 非线性系统 SUB 编码处理
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