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钟华
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52
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H指数:1
供职机构:
北京七星华创电子股份有限公司
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电子电信
医药卫生
文化科学
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合作作者
董金卫
北京七星华创电子股份有限公司
赵星梅
北京七星华创电子股份有限公司
赵燕平
北京七星华创电子股份有限公司
孙少东
北京七星华创电子股份有限公司
林松
北京七星华创电子股份有限公司
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董金卫
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:炉体 立式 氧化炉 热偶 半导体
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赵星梅
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:立式 氧化炉 炉体 硅片 晶片
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所获资助
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赵燕平
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:立式 炉体 立式炉 半导体 热处理炉
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孙少东
供职机构:淮安信息职业技术学院
研究主题:炉体 半导体 立式 半导体工艺设备 立式炉
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王喆
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:氧化炉 膜厚均匀性 位置控制 水冷却 缓冲器
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林松
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:循环风机 晶片 氮气 换气 控制系统
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陈江荣
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:硅片 集成电路制造 立式炉 焊缝强度 井架
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王健
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:半导体 安全隐患 绝缘材料 凸台 通孔
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孙妍
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:硅片 集成电路制造 立式炉 成品率 氧化炉
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王丽荣
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:半导体设备 排气 半导体 门锁 阀门
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