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张航

作品数：5 被引量：0H指数：0
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合作作者

领域

  • 2个机械工程
  • 2个自动化与计算...
  • 1个金属学及工艺
  • 1个电子电信
  • 1个文化科学

主题

  • 3个通信
  • 3个下位机
  • 3个控制方法
  • 3个半导体
  • 3个半导体设备
  • 3个报警
  • 2个电器
  • 2个调节装置
  • 2个延时
  • 2个氧含量
  • 2个氧含量控制
  • 2个氧化炉
  • 2个氧气含量
  • 2个预设
  • 2个真空
  • 2个真空泵
  • 2个气吹
  • 2个空气阀
  • 2个控制装置
  • 2个硅片

机构

  • 3个北京七星华创...

传媒

  • 1个电子工业专用...

地区

  • 3个北京市
共 3 条 记 录，以下是 1-3
王凯
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：半导体设备 硅片 承载器 叠片 通信系统
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周峰
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：半导体设备 氧化炉 控制方法 开关 碰撞
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张海轮
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：半导体设备 氧化炉 控制方法 立式 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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