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赵燕平
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供职机构:
北京七星华创电子股份有限公司
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金属学及工艺
医药卫生
文化科学
水利工程
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合作作者
董金卫
北京七星华创电子股份有限公司
孙少东
北京七星华创电子股份有限公司
赵星梅
北京七星华创电子股份有限公司
钟华
北京七星华创电子股份有限公司
郝永鹏
北京七星华创电子股份有限公司
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董金卫
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:炉体 立式 氧化炉 热偶 半导体
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孙少东
供职机构:淮安信息职业技术学院
研究主题:炉体 半导体 立式 半导体工艺设备 立式炉
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赵星梅
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:立式 氧化炉 炉体 硅片 晶片
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钟华
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:氧化炉 炉体 立式 立式炉 硅片
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郝永鹏
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:炉体 立式 键槽 花键 限位装置
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魏景峰
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:半导体 晶片 硅片 滑移 立式
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刘红丽
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:半导体设备 排气 炉体 控制装置 微环境
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康飞
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:炉体 传送 半导体设备 装卸 氮气
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刘慧
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:半导体 立式 轴向 缓冲器 炉体
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王艾
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:半导体 硅片 立式炉 加热器 温度补偿方法
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