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向毅

作品数：2 被引量：3H指数：1
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陈巍
供职机构：航天长征火箭技术有限公司
研究主题：微细加工 湿法腐蚀 多品种 炉温 微组装
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周建发
供职机构：航天长征火箭技术有限公司
研究主题：MEMS 微细加工 湿法腐蚀 谐振梁 传感器芯片
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闫海
供职机构：航天长征火箭技术有限公司
研究主题：微细加工 湿法腐蚀 均匀性 振梁加速度计 ANSYS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨贵玉
供职机构：航天长征火箭技术有限公司
研究主题：有限元分析 MEMS 石英 微细加工 湿法腐蚀
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陈圣广
供职机构：航天长征火箭技术有限公司
研究主题：微细加工 湿法腐蚀 振梁加速度计
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