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刘文平

作品数：19 被引量：14H指数：3
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
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王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴亚明
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：MEMS 微机电系统 光开关 光纤准直器 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘玉菲
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微电子机械系统 光学电流传感器 苯并环丁烯 高灵敏度 气密性封装
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李铁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅纳米线 各向异性腐蚀 石墨烯 气体传感器 纳米
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李四华
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：驱动器 微机电系统 MEMS 苯并环丁烯 体硅工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李欣昕
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅纳米线 压阻式加速度传感器 微机械 振动频率 深反应离子刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马铁英
供职机构：中国计量学院光学与电子科技学院
研究主题：退火 电阻温度系数 非晶硅 掺磷 各向异性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李昕欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋达
供职机构：浙江大学
研究主题：微电子机械系统 表面态 硅纳米线 光生载流子 电学
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
向民
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：光电子器件 主电极 传感器件 压电驱动 半导体材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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