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杜少博
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8
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供职机构:
中国电子科技集团第十三研究所
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自动化与计算机技术
机械工程
航空宇航科学技术
交通运输工程
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合作作者
何洪涛
中国电子科技集团第十三研究所
王伟忠
中国电子科技集团第十三研究所
杨拥军
中国电子科技集团第十三研究所
胡立业
中国电子科技集团第十三研究所
王帅
中国电子科技集团第十三研究所
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何洪涛
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 硅 芯片 微电子机械
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王伟忠
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 MEMS压力传感器 传感器 膜结构
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杨拥军
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 微机械 硅 传感器
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王敬轩
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:硅基 抛光液 抛光速率 抛光工艺 化学机械抛光
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王帅
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:全差分运算放大器 前馈补偿 电流复用 模拟前端 无线射频
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任永晓
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:半导体激光器 成品率 AU 攀爬 I
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崔玉兴
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:谐振器 衬底 半导体 腔体 压电层
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李庆伟
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:光电探测器 高速光电探测器 INGAAS/INP 光通信 掺杂
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李亮
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:谐振器 滤波器 腔体 衬底 滤波器技术
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商庆杰
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:谐振器 腔体 衬底 压电层 滤波器
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