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陈晨

作品数：1 被引量：7H指数：1
供职机构：北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
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李艳秋
供职机构：北京理工大学
研究主题：掩模 极紫外光刻 光源 光刻系统 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘克
供职机构：北京理工大学
研究主题：波像差 光刻机 投影物镜 光栅 位相
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪海
供职机构：北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室
研究主题：波像差 光刻机 投影物镜 光栅 位相
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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