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刘艳松
作品数:
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供职机构:
中国科学院微电子研究所
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自动化与计算机技术
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理学
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合作作者
赵超
中国科学院微电子研究所
丁明正
中国科学院微电子研究所
李俊峰
中国科学院微电子研究所
董立松
中国科学院微电子研究所
韦亚一
中国科学院微电子研究所
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赵超
供职机构:清华大学
研究主题:半导体器件 衬底 栅极 沟道 金属硅化物
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所获资助
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丁明正
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:探测器 硅基 击穿电压 暗电流 晶圆
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李俊峰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 衬底 沟道 栅极
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供职机构
所获资助
研究领域
韦亚一
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:光刻 掩模 版图 光源 刻蚀
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董立松
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:光刻 矢量 成像模型 光源 掩模
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孟令款
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:刻蚀 掩模 半导体器件 粗糙度 电子束光刻
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贺晓彬
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:刻蚀 光刻胶 电子束曝光 电子束 掩模
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