2024年12月3日
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吴飞斌
作品数:
28
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中国科学院
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唐锋
中国科学院上海光学精密机械研究...
李杰
中国科学院大学
王向朝
中国科学院大学
李永
中国科学院大学
韩军
中国科学院
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李杰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:波像差 投影物镜 剪切干涉 剪切干涉仪 子孔径拼接
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王向朝
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
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唐锋
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:波像差 干涉仪 剪切干涉 投影物镜 光栅
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李永
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:子孔径拼接 剪切干涉仪 波像差 剪切干涉 面形
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韩军
供职机构:中国科学院
研究主题:超声 SSD 超声检测 彩色图像分割 K均值聚类算法
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戴凤钊
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:测量方法 波像差 光栅 波前 剪切干涉
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郭福东
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:干涉仪 子孔径拼接 运动控制器 波像差 电机驱动器
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张国先
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:波像差 干涉仪 相移器 投影物镜 测量仪
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余程
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:并行计算 小波变换 干涉仪 光栅 光程
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李思坤
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:掩模 光刻机 投影物镜 光刻 极紫外光刻
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