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张秋香

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供职机构：复旦大学更多>>

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丁士进
供职机构：复旦大学
研究主题：原子层淀积 低介电常数 电荷 铜互连 快速热退火
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朱宝
供职机构：复旦大学
研究主题：浮栅 电容 硅 金属 TSV
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