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沈朝阳
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14
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中国工程物理研究院电子工程研究所
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国家自然科学基金
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合作作者
王旭光
中国工程物理研究院电子工程研究...
张照云
中国工程物理研究院电子工程研究...
熊壮
中国工程物理研究院电子工程研究...
赵宝林
中国工程物理研究院电子工程研究...
唐彬
中国工程物理研究院电子工程研究...
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王旭光
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:悬臂梁 极板 键合 超快激光 加速度传感器
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张照云
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:石英 极板 加速度计 刻蚀 结构层
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熊壮
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:石英 加速度计 极板 MEMS 惯性开关
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唐彬
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度计 极板 微加速度计 石英 结构层
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赵宝林
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:极板 加速度计 加速度传感器 悬臂梁 冲击传感器
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苏伟
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
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彭勃
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度计 结构层 掩膜 石英 微加速度计
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刘显学
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:极板 加速度计 石英 微机械陀螺 微加速度计
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姚明秋
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:微加速度传感器 加速度传感器 压电层 固有频率 阳极键合
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许蔚
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:石英 加速度计 极板 易加工 微加速度计
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