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杨杰
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供职机构:
中国科学院光电技术研究所
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文化科学
交通运输工程
建筑科学
自动化与计算机技术
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合作作者
陈林
中国科学院光电技术研究所
李杰
中国科学院光电技术研究所
曹学东
中国科学院光电技术研究所
田鹏
中国科学院光电技术研究所
李凡星
中国科学院光电技术研究所
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李杰
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:激光跟踪仪 转台 大口径 光学元件 激光跟踪
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陈林
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:激光跟踪仪 转台 光轴 光学元件 轮廓仪
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曹学东
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:焦距 微透镜阵列 焦距测量 自准直仪 光栅
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杨帆
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:测量方法 微透镜阵列 传感器 成像 光栅尺
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严伟
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:生物芯片 工件台 光刻 纳米光刻 成像系统
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胡松
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
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李凡星
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:成像 测量方法 干涉条纹 工件台 调制度
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周毅
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:宽光谱 调制度 数值孔径 超分辨 光刻机
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胡琦
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:气浮 测微仪 激光跟踪仪 气浮导轨 测量问题
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田鹏
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:测量方法 干涉图像 干涉条纹 调制度 全息
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