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韩明

作品数：8 被引量：3H指数：1
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信理学自动化与计算机技术更多>>

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共 19 条 记 录，以下是 1-10
唐圣明
供职机构：中国科学院
研究主题：扫描电镜 扫描电子显微镜 反应离子刻蚀 硅传感器 成像技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈思琴
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：反应离子刻蚀 空间电场 刻蚀 硅传感器 微电子技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周斌
供职机构：同济大学
研究主题：气凝胶 溶胶-凝胶 碳气凝胶 SIO2气凝胶 二氧化硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈军
供职机构：同济大学
研究主题：气凝胶 溶胶-凝胶 快速凝固 碳气凝胶 溶胶-凝胶法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴广明
供职机构：同济大学
研究主题：气凝胶 溶胶-凝胶 碳气凝胶 五氧化二钒 溶胶-凝胶法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐平
供职机构：同济大学
研究主题：激光全息 纳米 TIO2 TIO2薄膜 热蒸发
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈玲燕
供职机构：同济大学
研究主题：多层膜 软X射线 磁控溅射 反射率 气凝胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙骐
供职机构：同济大学
研究主题：惯性约束聚变 气凝胶 调制 激光损伤阈值 光学薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邓忠生
供职机构：同济大学
研究主题：气凝胶 溶胶-凝胶 二氧化硅 超临界干燥 SIO2气凝胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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