您的位置： 专家智库 > >

钱珍梅

作品数：14 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>

合作作者

领域

  • 11个电子电信
  • 10个机械工程
  • 9个自动化与计算...
  • 9个理学
  • 4个生物学
  • 4个环境科学与工...
  • 3个建筑科学
  • 2个交通运输工程
  • 2个核科学技术
  • 2个医药卫生
  • 2个文化科学
  • 1个金属学及工艺
  • 1个农业科学
  • 1个一般工业技术
  • 1个政治法律

主题

  • 13个狭缝
  • 11个照明
  • 11个螺钉
  • 10个组件
  • 10个光轴
  • 9个照明系统
  • 9个透镜
  • 9个步进
  • 8个大行程
  • 8个刀片
  • 8个信号
  • 8个信号处理
  • 8个连接板
  • 6个底板
  • 6个调整板
  • 6个对接
  • 5个信号处理模块
  • 5个亚微米级
  • 4个调控装置
  • 4个调整架

机构

  • 14个中国科学院上...
  • 4个中国科学院大...
  • 2个中国科学院
  • 2个中国科学院研...
  • 1个长春理工大学
  • 1个军事医学科学...
  • 1个中国工程物理...
  • 1个机械工业部杭...

资助

  • 7个上海市自然科...
  • 6个国际科技合作...
  • 6个上海市科技人...
  • 5个国家自然科学...
  • 5个国家科技重大...
  • 4个上海市国际科...
  • 3个国家高技术研...
  • 1个上海市青年科...
  • 1个国家攀登计划
  • 1个上海市教育委...
  • 1个浙江省公益性...

传媒

  • 8个中国激光
  • 8个光学学报
  • 6个光子学报
  • 4个激光与光电子...
  • 3个洁净与空调技...
  • 3个仪器仪表学报
  • 2个分析化学
  • 2个光学精密工程
  • 2个物理学报
  • 2个强激光与粒子...
  • 2个科技开发动态
  • 2个上海市激光学...
  • 1个生物技术通讯
  • 1个电子测量技术
  • 1个计量学报
  • 1个机床与液压
  • 1个激光杂志
  • 1个应用光学
  • 1个功能材料与器...
  • 1个微细加工技术

地区

  • 14个上海市
共 14 条 记 录，以下是 1-10
黄惠杰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
任冰强
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 光束 照明系统 光阑 焦斑
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王振
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：对接 大口径透镜 非平面 防撞装置 多自由度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
程伟林
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 光学元器件 接收器 对接 驱动模块
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙征宇
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：大气气溶胶 步进 大行程 循环检测 多自由度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
薛佩佩
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：大口径透镜 多自由度 光刻机 固定螺钉 环境补偿
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨增辉
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：对接 边界面 包边工艺 包边 防撞装置
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨宝喜
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 照明系统 光学设计 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈明
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 紫外光刻 照明系统 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
林栋梁
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：狭缝 组件 光刻机 多自由度 照明系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共2页<12>
聚类工具0