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蒋新亭
作品数:
4
被引量:6
H指数:1
供职机构:
中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
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发文基金:
国家自然科学基金
中国科学院“百人计划”
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
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合作作者
霍同林
中国科学技术大学核科学技术学院...
钟鹏飞
中国科学技术大学核科学技术学院...
周洪军
中国科学技术大学核科学技术学院...
郑津津
中国科学技术大学工程科学学院精...
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周洪军
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:多层膜 真空紫外 光束线 软X射线 离子束刻蚀
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钟鹏飞
供职机构:中国科学技术大学工程科学学院精密机械与精密仪器系
研究主题:光学元件 英文 高次 臭氧 氧原子
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相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
霍同林
供职机构:中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
研究主题:多层膜 真空紫外 软X射线 光束线 离子束刻蚀
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
郑津津
供职机构:中国科学技术大学工程科学学院精密机械与精密仪器系
研究主题:接近式光刻 高次谐波 英文 曲面重构 三维重建
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