2024年11月27日
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王钻开
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10
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供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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国家重点基础研究发展计划
中国科学院知识创新工程重要方向项目
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相关领域:
机械工程
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合作作者
陆德仁
中国科学院上海微系统与信息技术...
宗登刚
中国科学院上海微系统与信息技术...
黄全平
中国科学院上海微系统与信息技术...
王聪和
香港理工大学
张泰华
中国科学院力学研究所
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陆德仁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 加速度传感器 传感器 微机械加速度传感器 微电子机械系统
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黄全平
供职机构:复旦大学信息科学与工程学院专用集成电路与系统国家重点实验室
研究主题:JPEG2000 微机械加速度传感器 FPGA验证 IP核 静态特性
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宗登刚
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:残余应力 微机械 杨氏模量 微电子机械系统 加速度传感器
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王聪和
供职机构:香港理工大学
研究主题:残余应力 微机械 热扩散率 杨氏模量 基底
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张泰华
供职机构:浙江工业大学
研究主题:压头 靶材 残余应力 磁控溅射 浮空器
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郇勇
供职机构:中国科学院力学研究所
研究主题:材料试验机 微尺度 试验机 测试仪 电磁式
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杨业敏
供职机构:中国科学院力学研究所
研究主题:微加速度计 测试仪 同步机 炸药 信号采集模块
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陈刚
供职机构:中国科学院上海硅酸盐研究所
研究主题:残余应力 杨氏模量 氮化硅薄膜 力学性能 微机械
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