2024年11月23日
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陈韬
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复旦大学
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合作作者
屈新萍
复旦大学
刘书一
复旦大学
万景
复旦大学
茹国平
复旦大学
蒋玉龙
复旦大学
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屈新萍
供职机构:复旦大学
研究主题:微电子 固相反应 扩散阻挡层 NISI 纳米压印技术
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刘书一
供职机构:复旦大学
研究主题:氧化锌纳米棒 微电子 场效应晶体管 阳极氧化铝模板 旋涂
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万景
供职机构:复旦大学
研究主题:晶体管 绝缘层上硅 掺杂 正反馈 沟道
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茹国平
供职机构:复旦大学微电子研究院
研究主题:固相反应 NISI 微电子 SI 金属栅
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陆冰睿
供职机构:复旦大学
研究主题:电子束光刻 光刻胶 纳米 旋涂 石墨烯
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蒋玉龙
供职机构:复旦大学
研究主题:微电子 金属栅 势垒 NISI 肖特基接触
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邓少任
供职机构:复旦大学
研究主题:纳米压印技术 衬底 氧化锌纳米棒 阳极氧化铝模板 旋涂
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段鹏
供职机构:复旦大学
研究主题:金属诱导结晶 红外探测器 温度特性 微测辐射热计 电阻温度系数
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谭晶晶
供职机构:复旦大学
研究主题:扩散阻挡层 铜互连 钌 TAN 籽晶
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周觅
供职机构:复旦大学
研究主题:钌 TAN 扩散阻挡层 籽晶 铜互连
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