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作品数:
9
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供职机构:
中国科学院电工研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
金属学及工艺
一般工业技术
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合作作者
黄经筒
中国科学院电工研究所
吴振华
中国科学院电工研究所
杨铁三
中国科学院电工研究所
任侠
中国科学院电工研究所
齐克修
中国科学院电工研究所
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黄经筒
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:真空电弧 离子镀膜 电弧 沉积速率 掩模
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供职机构
所获资助
研究领域
吴振华
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:真空电弧 电弧 物理气相沉积 横向磁场 大电流
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齐克修
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:氮化钛 变参数 界面结合力 物理气相沉积 色调
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相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
杨铁三
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:氮化钛 变参数 界面结合力 物理气相沉积 色调
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
任侠
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:横向磁场 真空电弧离子镀 沉积速率 真空电弧 电弧离子镀
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