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张善华

作品数：21 被引量：3H指数：1
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

领域

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机构

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地区

  • 12个上海市
共 12 条 记 录，以下是 1-10
黄惠杰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曾爱军
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 起偏器 移相 测量方法 偏振
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
袁乔
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：测量方法 面形 锥角 干涉仪 起偏器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄立华
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：免疫层析 上转换发光 光刻机 试纸条 金标
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
凌丽青
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：试纸条 潜在指印 指印 分色镜 检材
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨增辉
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：对接 边界面 包边工艺 包边 防撞装置
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
任冰强
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 光束 照明系统 光阑 焦斑
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马兴华
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：狭缝 测试系统 步进 大行程 边界面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
屈建峰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：试纸条 生物免疫 上转换发光 安全数码卡 多通道
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱玲琳
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：起偏器 波片 计算机组成 方位角 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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