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周晓峰

作品数：29 被引量：9H指数：2
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信生物学机械工程更多>>

合作作者

领域

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主题

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机构

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资助

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传媒

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  • 3个仪器仪表学报
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  • 2个红外与激光工...
  • 2个工程设计学报
  • 2个电子学报
  • 2个机械强度

地区

  • 15个上海市
  • 2个北京市
  • 1个浙江省
共 18 条 记 录，以下是 1-10
车录锋
供职机构：浙江大学
研究主题：弹性梁 电容式加速度传感器 微机械陀螺 加速度传感器 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
林友玲
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：电容式加速度传感器 加速度传感器 弹性梁 三明治 大尺寸
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
熊斌
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 键合 热电堆 弹性梁 微机械陀螺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘超然
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：介质层 电势差 超疏水材料 液态水 液滴
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黎晓林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
研究主题：加速度计 三明治 高Q值 MEMS加速度传感器 Σ-Δ调制
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李伟
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：芯片 折射率 弹性梁 电磁波 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孟祥
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：MEMS工艺 硅 饱和度 高通量 干法刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
蔡梅妮
供职机构：中国科学院研究生院
研究主题：三明治 MEMS加速度传感器 加速度传感器 划片 品质因数
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
梁盛林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：SIO 基底 微机电系统 MEMS工艺 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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