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叶佩青

作品数：307 被引量：1,503H指数：22
供职机构：清华大学更多>>
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地区

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张辉
供职机构：清华大学
研究主题：直线电机 多叶光栅 CMP 公共建筑 存储介质
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张辉
供职机构：西安理工大学艺术与设计学院
研究主题：关节镜 膝关节 前交叉韧带 直流微电网 关节镜检查
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赵彤
供职机构：清华大学机械工程学院机械工程系
研究主题：机床 卷绕成形 数控系统 插补 丝杠
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪劲松
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 并联机床 机器人 三自由度 并联机构
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杨开明
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 平面电机 六自由度 直线电机 工件台
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段广洪
供职机构：清华大学深圳研究生院
研究主题：光刻机 工位 平面电机 基台 并联机床
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门延武
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 压力源 晶圆 半导体制造技术
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路新春
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
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夏必忠
供职机构：清华大学深圳研究生院
研究主题：液压自由活塞发动机 凸轮驱动 发动机 自由活塞发动机 透平机
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张震
供职机构：清华大学
研究主题：解耦 终端平台 驱动器 激光 大行程
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