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刘玉菲
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H指数:4
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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国家自然科学基金
中国科学院知识创新工程重要方向项目
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吴亚明
中科院上海微系统与信息技术研究...
李四华
中国科学院上海微系统与信息技术...
赵本刚
中科院上海微系统与信息技术研究...
高翔
中科院上海微系统与信息技术研究...
徐静
中科院上海微系统与信息技术研究...
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吴亚明
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 微机电系统 光开关 光纤准直器 微电子机械系统
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李四华
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:驱动器 微机电系统 MEMS 苯并环丁烯 体硅工艺
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赵本刚
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微电子机械系统 光学电流传感器 高灵敏度 光电隔离 温度补偿
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高翔
供职机构:浙江大学
研究主题:烟气 催化剂 选择性催化还原 烟气脱硫 太阳能
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徐静
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 微机电系统 光学电流传感器 加速度传感器
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刘文平
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅纳米线 传感器件 干法刻蚀技术 电阻温度系数 退火
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万助军
供职机构:华中科技大学
研究主题:光纤准直器 光环行器 光纤阵列 端口 相位光栅
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王跃林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 硅片
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穆参军
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 光学扫描 大尺寸 电磁驱动 光学电流传感器
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罗乐
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:圆片级 封装 子层 电镀 封装结构
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