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刘毅楠

作品数：10 被引量：4H指数：1
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金应用光学国家重点实验室开放基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：理学机械工程电子电信生物学更多>>

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地区

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共 10 条 记 录，以下是 1-10
马月英
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：多层膜 软X射线 软X射线多层膜 光学元件 磁控溅射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曹健林
供职机构：中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室
研究主题：软X射线 多层膜 软X射线多层膜 正入射 光学元件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王占山
供职机构：中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室
研究主题：软X射线 多层膜 正入射 软X射线多层膜 随机数
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曹健林
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
研究主题：软X射线 多层膜 极紫外投影光刻 集成电路 磁控溅射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
裴舒
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：多层膜 软X射线 均匀性 软X射线多层膜 磁控溅射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
付绍军
供职机构：中国科学技术大学
研究主题：光栅 离子束刻蚀 软X射线 衍射效率 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高宏刚
供职机构：中国科学院
研究主题：抛光 超光滑表面 超精密加工 软X射线 多层膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐向东
供职机构：中国科学技术大学
研究主题：离子束刻蚀 光栅 软X射线 衍射光栅 全息光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吕俊霞
供职机构：同济大学
研究主题：软X射线 多层膜 软X射线多层膜 正入射 光学元件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
洪义麟
供职机构：中国科学技术大学
研究主题：离子束刻蚀 光栅 全息光刻 衍射光栅 软X射线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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