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刘哲
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中国科学院物理研究所
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自动化与计算机技术
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合作作者
顾长志
中国科学院物理研究所
李俊杰
中国科学院物理研究所
杨海方
中国科学院物理研究所
夏晓翔
中国科学院物理研究所
李无瑕
中国科学院物理研究所
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顾长志
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:金刚石膜 衬底 金刚石 石墨烯 金刚石薄膜
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李俊杰
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:衬底 石墨烯 定影 金刚石 抗蚀剂
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杨海方
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:石墨烯 定影 反应离子刻蚀 金属 电子束曝光
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夏晓翔
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:金属 掩膜 金属结构 阵列结构 衬底材料
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李无瑕
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:衬底 自支撑 纳米 离子束 电极接触
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崔阿娟
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:自支撑 离子束辐照 基底 绝缘 图案
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尹红星
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:光刻胶 干法刻蚀 光提取效率 金属 紫外光刻
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杜硕
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:超材料 成像器件 轨道角动量 工作波长 几何相位
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金爱子
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:聚焦离子束 反应离子刻蚀 电子束 金属硅化物 离子束
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唐成春
供职机构:河北工业大学
研究主题:氮化硼 纳米片 六方氮化硼 纳米纤维 荧光粉
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