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车录锋
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157
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H指数:10
供职机构:
浙江大学
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合作作者
王跃林
浙江大学信息学院
熊斌
中国科学院上海微系统与信息技术...
周晓峰
中国科学院研究生院
李伟
中国科学院上海微系统与信息技术...
李昕欣
中国科学院上海微系统与信息技术...
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王跃林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
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熊斌
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 键合 热电堆 弹性梁 微机械陀螺
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周晓峰
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:弹性梁 电容式加速度传感器 加速度传感器 侧向冲击 过载
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李伟
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:芯片 折射率 弹性梁 电磁波 衬底
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李昕欣
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
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杨建义
供职机构:浙江大学
研究主题:波导 集成光学 光开关 多模干涉 玻璃基
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郝寅雷
供职机构:浙江大学信息与电子工程学系
研究主题:离子交换 波导 玻璃基 集成光学 光波导芯片
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林友玲
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:电容式加速度传感器 加速度传感器 弹性梁 三明治 大尺寸
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余辉
供职机构:浙江大学
研究主题:波导 光波导芯片 滤波器 有效折射率 玻璃基
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周晓军
供职机构:浙江大学
研究主题:超声检测 驱动桥 故障诊断 超声 碳纤维复合材料
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