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赵科新
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中国科学院
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合作作者
赵崇凌
中国科学院
张冬
中国科学院
徐宝利
中国科学院
洪克超
中国科学院
李士军
中国科学院
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赵崇凌
供职机构:中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
研究主题:PECVD 氮化硅 进气 卸载 装载
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徐宝利
供职机构:中国科学院
研究主题:PECVD 氮化硅 进气 卸载 装载
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张冬
供职机构:中国科学院
研究主题:PECVD 氮化硅 进气 卸载 装载
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张健
供职机构:中国科学院金属研究所
研究主题:单晶高温合金 定向凝固 镍基单晶高温合金 高温合金 电火花沉积
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李士军
供职机构:中国科学院
研究主题:PECVD 氮化硅 进气 卸载 装载
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洪克超
供职机构:中国科学院
研究主题:PECVD 氮化硅 进气 卸载 装载
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钟福强
供职机构:中国科学院
研究主题:PECVD 氮化硅 进气 卸载 装载
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段鑫阳
供职机构:中国科学院
研究主题:PECVD 氮化硅 平板式 覆膜 硅
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陆涛
供职机构:中国科学院
研究主题:PECVD 氮化硅 进气 卸载 装载
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张振厚
供职机构:中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
研究主题:真空泵 泵用 轴封 干式真空泵 罗茨
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