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贺晓彬
作品数:
98
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H指数:1
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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国家科技重大专项
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相关领域:
电子电信
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交通运输工程
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合作作者
李俊峰
中国科学院微电子研究所
杨涛
中国科学院微电子研究所
刘金彪
中国科学院微电子研究所
罗军
中国科学院微电子研究所
唐波
中国科学院微电子研究所
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李俊峰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 衬底 沟道 栅极
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杨涛
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:刻蚀 衬底 半导体器件 化学机械平坦化 晶圆
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刘金彪
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 掺杂 衬底 刻蚀
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所获资助
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罗军
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 金属硅化物 衬底 半导体
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唐波
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 衬底 介质层 波导
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孟令款
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:刻蚀 掩模 半导体器件 粗糙度 电子束光刻
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李春龙
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 刻蚀 掩模 粗糙度
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赵超
供职机构:清华大学
研究主题:半导体器件 衬底 栅极 沟道 金属硅化物
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李俊杰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:刻蚀 半导体器件 沟道 纳米线 电子设备
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高建峰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:刻蚀 半导体器件 衬底 沟道 热电堆
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