2024年11月23日
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罗正全
作品数:
45
被引量:39
H指数:3
供职机构:
中国科学院光电技术研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
中国科学院西部之光基金
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相关领域:
电子电信
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生物学
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合作作者
胡松
中国科学院光电技术研究所
刘业异
中国科学院光电技术研究所
唐小萍
中国科学院光电技术研究所
马平
中国科学院光电技术研究所
赵立新
中国科学院光电技术研究所
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胡松
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
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刘业异
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:生物芯片 光刻机 扫描仪 投影光刻机 投影光刻物镜
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马平
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 掩模 工件台 样片 纳米光刻
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赵立新
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
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王肇志
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:电子束曝光机 光刻机 片夹 生物芯片 计算机控制系统
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唐小萍
供职机构:西藏自治区气候中心
研究主题:生物芯片 纳米光刻 掩模 光刻分辨力 光刻机
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徐锋
供职机构:西南科技大学信息工程学院
研究主题:条纹 纳米光刻 图像探测器 光刻 投影光刻
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周绍林
供职机构:华南理工大学
研究主题:纳米光刻 条纹 光固化 光栅 成像系统
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徐文祥
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 投影光刻机 掩模 光束 动镜
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严伟
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:生物芯片 工件台 光刻 纳米光刻 成像系统
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